多晶硅項目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含氯有機(jī)廢液，廢液經(jīng)焚燒爐充分燃燒，焚燒產(chǎn)生的煙氣經(jīng)余熱鍋爐回收熱能并經(jīng)過除塵脫酸處理后排放到大氣，同時還可以回收高濃度的氯化氫溶液；含氟項目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的含氟有機(jī)廢液，廢液經(jīng)焚燒爐充分燃燒，焚燒產(chǎn)生的煙氣經(jīng)余熱鍋爐回收熱能并經(jīng)過除塵脫酸處理后排放到大氣，同時還可以回收高濃度的氟化氫溶液。
焚燒爐特點：
（1）焚燒爐本體采用立式爐結(jié)構(gòu)，可以減少爐本體的占地面積，同臥式爐相比，立式爐結(jié)構(gòu)改變了耐火材料的受力狀況，完全避免了耐火材料在高溫情況下可能出現(xiàn)的爆裂和坍塌現(xiàn)象。
（2）焚燒爐本體采用立式爐結(jié)構(gòu)，底部設(shè)有沉降室，使得焚燒過程中產(chǎn)生的部分SiO2等粉塵能夠在爐本體內(nèi)收集，減少煙氣帶出的粉塵量，減少后續(xù)設(shè)備的壓力。
（3）爐體燃燒根據(jù)3T1E（溫度、時間、渦流、過剩系數(shù)）原則設(shè)計，確保廢液在爐本體燃燒室內(nèi)充分氧化、熱解、燃燒，使有機(jī)物破壞去除率達(dá)到99.99%以上。
（4）廢液和助燃空氣在焚燒爐內(nèi)切向混合，其混合程度好、湍流度高、燃燒速度及效率極高，過剩空氣系數(shù)低，可節(jié)約燃料。
（5）爐體整體溫度分布為低-高-低，頂部燃燒陶瓷部處于相對低溫部800℃左右可較好地保護(hù)各個燒嘴。延長燒嘴使用壽命。
（6）安全性高-設(shè)有啟動前不排除易爆氣體就不能點火的功能，以防氣爆，爐內(nèi)設(shè)有火焰檢知器，一旦爐內(nèi)發(fā)生熄火或點火失敗，立即自動切斷廢液供給，報警系統(tǒng)完善，安全可靠。
（7）為確保系統(tǒng)安全，在爐體內(nèi)設(shè)有度明燈性質(zhì)的小型燃燒器，避免廢液進(jìn)料時因可能出現(xiàn)的不穩(wěn)定，而產(chǎn)生突然熄火，后又起火的現(xiàn)象，最大限度杜絕氣爆現(xiàn)象發(fā)生。
（8）所有進(jìn)料管路設(shè)有氮氣吹掃系統(tǒng)確保整個系統(tǒng)不殘留可燃?xì)怏w，確保系統(tǒng)安全。
（9）采用多項先進(jìn)技術(shù)，使設(shè)備簡化，易于維修，并降低了運行成本。
（10）充分考慮廢液焚燒后的廢熱利用，可產(chǎn)生蒸汽供生產(chǎn)使用。
（11）充分考慮廢液焚燒后回收高濃度的酸溶液（濃度可達(dá)20%-25%）。
（12）同時可以處理含氯（氟）廢氣。
適用范圍：
1、多晶硅項目及其他含氯有機(jī)物生產(chǎn)項目；
2、氟化工及其他含氟有機(jī)物生產(chǎn)項目。